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精密平面度研削加工技術アルミの精密研磨加工 ・薄板加工技術 ・大型平面研削 ・SUSφ350、1.5t薄板加工 ・ALφ300、平面度2ミクロン




精密平面研削技術により、高精度なテーブル加工を実現


  • ウエハー搬送テーブル


  • 精      度:□200−0.003以内
  • 加工可能材質:SUS300系、400系、600系
  • 平  面  度 :0.001以下

【平面評価データ】


【直進性評価データ】

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  • アルミの研磨加工の対応が可能です。
  • 平面・平行度3ミクロン以内の加工が出来ます。

  • 材質:AL
  • 表面処理:なし
  • 大きさ:相談ください(実績φ350mm、T=45mm)


  • 半導体製造装置の部品

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  • 平面度50ミクロン、平行度0.1
  • 外径φ300、板厚2mm (材質:A5052)
  • MCの両面切削加工により歪みの出ない加工が可能
 
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  • 様々な大型の高精度部品・治具に対応致します。
  • 平面度:5μm以下
  • 対応サイズ:900×500

 
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  • 1.5mm厚でも精度を保てます! (直角度0.3 平行度0.3)

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  • 平面度2ミクロンの高精度加工が出来ます!

 
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精密平面度研削加工技術アルミの精密研磨加工 ・薄板加工技術 ・大型平面研削 ・SUSφ350、1.5t薄板加工
 ・ALφ300、平面度2ミクロン