アロン電機株式会社-製品情報-治具

	製品情報　～治具～
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精密加工により製品の機能性を保証いたします。

吸着性を高めるため高精度での深穴加工を実現しております。
また”高速”で加工することにより加工時間が短くなりコストダウンにつなげております。

●吸着式の治具

精密な平面度をもったこちらの商品は、ウエハ切断の歩留まり防止に貢献しています。

無磁性のステンレスを平面度0.001での加工および精度保証が可能です。

またステンレスの平面度は、ラップではなく研磨で行うためコスト低減にも繋げられます。

装置搭載時の吸着性を精密なものにする為、深穴加工など当社の加工技術を集結しております。

ステンレスの精密な研磨加工により高精度な製品をご提供いたします。

	突起のピン部はマシニングによる彫り出し加工を行っております。　ウエハ裏面とピン上面間へのごみの挟み込みを避けるためのピン（径約0.5mm、高さ0.3mm）は多数にあるため短時間での加工が要求されます。　研磨仕上げにて平行度1～3μmの精度保証を行っております。

●半導体製造装置のチャックテーブル

基板のサイズに合わせて製作します（アルミ微細加工）

●材質：アルミ
●表面処理：導電性アルマイト
●サイズ：φ200

●基板の洗浄やエッチングの際に基板を収納するトレーです

お客様の製品に合わせて、ラック治具製作～ポリエチレン樹脂コーティングまで一括生産が可能です。

	ラック治具の挟み込みの保持強度は、お客様の製品に合わせて設計いたします。　お客様のニーズに合わせたご提案が可能です。

●メッキラック治具

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