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加工要素別【あり溝ヘール加工品・５軸加工部品・接着複合部品・溶接複合部品1】
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製品情報 ～半導体製造装置用機械部品～ |
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あり溝ヘール加工品
SUS材のあり溝高面精度加工技術により、高精度な製品をご提供致します。
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チャンバー内の真空度を損なわない為に、へール面精度を上げ、且つあり溝構造での加工を行う技術があります。 コーナー部と断面が負角になった部分においても安定し加工する事が出来ます。 あり溝加工は刃物から製作いたしますので、ご要望の形状での加工が可能です。 |
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●次世代半導体製造装置
真空チャンバー向け部品
接着複合部品
薄物加工と張り付け技術により高機能な製品をご提供いたします。
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溝にSUS板でフタを接着する構造。 約400mmの長さの薄いSUS板を接着可能です。 「母材加工⇒接着⇒バキューム試験」を一括して行うことで機能製品をご提供いたします。 |
●ウエハ搬送用の治具
溶接複合部品①
ＳＵＳ材の高精度加工品を溶接にて組合せ、シーリング機能を保証し製品をご提供致します。
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ステンレスの加工部品を溶接し、製品全体の組立精度を保証しております。 Ｏリングにてシーリング機能を保持する溝を高精度で加工する事により高圧での漏れを無くし、出荷検査にて機能テスト後、製品のご提供を行っております。 |
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●半導体製造装置
センサー機能収納部品
