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  真空系部品【 チャンバーチャンバー内部品拡散板シャワーヘッドアルマイト剥がし加工
  搬送系部品【 ロボットハンド 搬送用ゴムパッド吸着テーブル
  洗浄系部品【 エアー噴出ノズル洗浄用ノズル
  その他部品【 カップリング(軸継手)充填梱包機用部品吸着ステージウエハー収納トレイ真空ロウ付け品

チャンバー
チャンバー


多工程の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。

5軸加工品

材質:A5052
外形:□450mm


  • 半導体製造装置チャンバー

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チャンバー内部品



複合加工部品の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。

旋削5軸加工品

チャンバー内部品 チャンバー内部品
材質:A6061
外径:φ520mm
チャンバー内部品 チャンバー内部品
材質:A6061
外径:φ400mm

  • 半導体製造装置のチャンバー内部品

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拡散板

拡散板

拡散板 バリレス仕上げ

拡散板 ラップ研磨仕上げ




図面記載のない穴径精度や表面粗さ等の品質をお客様と作り上げていくプロセスがあります。

バリレス穴加工品

  • バリレス加工

    通常の加工では面取り加工を施してもなくならないバリが、当社の穴加工技術を応用することで口元にバリのない穴を可能にします。

  • 鏡面仕上げ

    非接触面粗さ測定器により表面粗さの保証まで行います。


  • プラズマCVT装置
  • スパッタリング装置

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シャワーヘッド

シャワーヘッド

シャワーヘッド




多工程の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。

5軸加工品

材質:A606
外径:φ290mm


  • 半導体製造装置の部品

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薄物加工と貼り付け技術により高機能な製品をご提供いたします。



吸着・脱離の機能性を損なわないようにするSUS貼り付け技術のノウハウがあります。
ウエハ搬送時の吸着・脱離システムに一役かっています。
製品化に際してお客様とお打合せをし最適な加工方法を作り上げていきます。


  • 半導体洗浄機ロボットハンド
  • ウエハー搬送部分

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ゴムの精密加工いたします。



ゴムを冷凍しマシニングセンターにて、バリレス・精度加工ができるようになりました。

 ※ピッチ精度±0.01 


  • 半導体製造装置
  • その他

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 ◇ゴムと金属接着技術
 ◇ゴム加工(平面度50μ)
 ◇機能保証(リーク試験)
 ◇用途:ウエハー搬送




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高精度な細穴加工技術と噴射の機能評価までの高次元プロセスでご提供いたします。



材質:SUS316/アルミ/鉄
規格:φ0.05mm/厚み 穴径の約10倍



使用用途
  • 洗浄用ノズル
  • ウォータカッターノズル
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高精度な細穴加工技術と噴射の機能評価までの高次元プロセスでご提供いたします。



材質:SUS316/アルミ/鉄
規格:φ0.05mm/厚み 穴径の約10倍



使用用途
  • エアー噴出ノズル
  • ウォータカッターノズル

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 現品より図面を作図し、同等品を製作いたします。





 三次元測定機にて現品を測定し、作図から
加工まで一貫生産にて、ご提供いたします。

 ※円柱状の材料に2本の螺旋状のスリットを
   入れた完全一体構造の金属カップリングです。



  • 半導体製造装置
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複合加工部品の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。


 
材質:SUS304
外径:□100mm

 

材質:A2017
外径:□100mm×300mm

 

材質:A5083
外径:□200mm×200mm



  • 充填梱包機器用の部品

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ワークとの接触面を小さくしてワークを固定します



  • 材質:アルミ
  • サイズ:φ200




  • ワークを蒸着する際に使うステージです
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ワイヤー加工にてピッチ精度5ミクロンの部品加工が可能です



  • 材質:SUS303
  • サイズ:□100
  • 表面処理:無電解ニッケル
  • 使用機械:ワイヤー加工機



  • ウェハーなどを収納するためのトレイなどで精度が必要な製品
  • ピッチ精度が必要な部品
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  • ◇内部水路を形成
  • ◇機能保証(リーク検査)
  •   (表面)               (裏面)               真空ロウ付け後
   


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  • ◇仕上げ精度平面度20μ
  • ◇ヘール加工
        

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