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真空系部品【チャンバー・チャンバー内部品・拡散板・シャワーヘッド・アルマイト剥がし加工】
搬送系部品【ロボットハンド・ 吸着テーブル】
洗浄系部品【洗浄用ノズル】
その他部品【真空ロウ付け品】
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製品情報 〜半導体製造装置用機械部品〜 |
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チャンバー
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 多工程の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。  材質：A5052 外形：□450ｍｍ  ・半導体製造装置チャンバー |
チャンバー内部品
複合加工部品の段取り替えを減らし、高精度部品を低コスト・短納期でご提供いたします。
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材質：A6061 外径：φ520ｍｍ |
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材質：A6061 外径：φ400ｍｍ |
半導体製造装置のチャンバー内部品
拡散板
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図面記載のない穴径精度や表面粗さ等の品質をお客様と作り上げていくプロセスがあります。 |
 ●バリレス加工 通常の加工では面取り加工を施してもなくならないバリが、当社の穴加工技術を応用することで口元にバリのない穴を可能にします。 ●鏡面仕上げ 非接触面粗さ測定器により表面粗さの保証まで行います。 |
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●プラズマCVT装置 ●スパッタリング装置 |
ロボットハンド
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薄物加工と貼り付け技術により高機能な製品をご提供いたします。 |
 吸着・脱離の機能性を損なわないようにするSUS貼り付け技術のノウハウがあります。 ウエハ搬送時の吸着・脱離システムに一役かっています。 製品化に際してお客様とお打合せをし最適な加工方法を作り上げていきます。 |
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●半導体洗浄機ロボットハンド ●ウエハー搬送部分 |
洗浄用ノズル
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高精度な細穴加工技術と噴射の機能評価までの高次元プロセスでご提供いたします。 |
 材質：ＳＵＳ316／アルミ／鉄 規格：φ0.05ｍｍ／厚み 穴径の約10倍 |
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 使用用途 ●エアー噴出ノズル ●ウォータカッターノズル |
